Зондовые нанотехнологии в электронике
книга

Зондовые нанотехнологии в электронике

Автор: Владимир Неволин

Форматы: PDF

Серия:

Издательство: Техносфера

Год: 2014

Место издания: Москва

ISBN: 978-5-94836-382-0

Страниц: 174

Артикул: 41798

Электронная книга
99

Краткая аннотация книги "Зондовые нанотехнологии в электронике"

Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.

Содержание книги "Зондовые нанотехнологии в электронике"


Предисловие автора
Введение
Литература
Глава 1. Зондовая микроскопия и нанотехнология
1.1. Зондовые микроскопы для технологических приложений
1.2. Зондовая микроскопия углеродных нанотрубок
1.2.1. Атомная структура углеродных нанотрубок
1.2.2. Методы селекции углеродных нанотрубок по размерам, форме, тонкой структуре
1.3. Зондовая нанотехнология: взгляд на развитие
Литература
Глава 2. Теоретическое и экспериментальное исследование процессов формирования наноразмерных структур с помощью проводящего зонда
2.1. Физико-химические эффекты в зондовой нанотехнологии
2.2. Концепция зондовой нанотехнологии в газовых и жидких средах
2.3. Контактное формирование нанорельефа поверхности подложек
2.4. Бесконтактное формирование нанорельефа поверхности подложек
2.5. Локальная «глубинная» модификация полупроводниковых подложек
2.6. Локальная электродинамическая модификация поверхности подложки
2.7. Межэлектродный массоперенос с нанометровым разрешением
2.8. Модификация свойств среды в зазоре между проводящим зондом и подложкой
2.9. Электрохимический массоперенос
2.10. Массоперенос с помощью газовой среды
2.11. Локальное анодное окисление
2.12. Тепловой эффект в устройствах вакуумной микро- и наноэлектроники
Приложение
Литература
Глава 3. Зондовые нанотехнологии создания элементной базы наноэлектроники
3.1. Квазиодномерные проводники как активные элементы наноэлектроники
3.2. Зондовое формирование полимерных микропроводников
3.3. Методы формирования металлических квазиодномерных микроконтактов на подложках
3.4. Создание элементов металлической наноэлектроники
3.5. Нанотранзисторы на основе углеродных нанотрубок. Инверторы
3.5.1. Метод приготовления проводников на основе пучка углеродных нанотрубок
3.5.2. Репозиционирование и модифицирование углеродных нанотрубок на подложках
3.5.3. Исследование характеристик макетов нанотранзистора и инвертора на основе углеродных нанотрубок
3.6. Углеродная наноэлектроника
3.7. Локальное анодное окисление пиролитического графита
Литература
Заключение

Все отзывы о книге Зондовые нанотехнологии в электронике

Чтобы оставить отзыв, зарегистрируйтесь или войдите

Отрывок из книги Зондовые нанотехнологии в электронике

291.2. Зондовая микроскопия углеродных нанотрубокнужны не единичные экземпляры, а множество таких нанотру-бок, т. е. наноматериал ветвящихся углеродных трубок. Располагая наноматериалами, в том числе из углеродных нанотрубок, и соот-ветствующими нанотехнологиями, можно ожидать качественных прорывов в наноэлектронике.1.2.1. Атомная структура углеродных нанотрубокПо своей структуре углеродные нанотрубки являются третьей ал-лотропной формой углерода, представляющей собой цилиндр, свернутый из одной (однослойная нанотрубка) или нескольких графитовых плоскостей (многослойная нанотрубка). Существу-ет ограниченное число схем, с помощью которых из графитово-го слоя можно выстроить нанотрубку [11, 32]. Рассмотрим точки A и A’ на рис. 1.5. Вектор, соединяющий A и A’, определяется как сh = na1 + ma2, где n, m — действительные числа, a1, a2 — единичные векторы в графитовой плоскости. Трубка образуется при сворачи-вании графитового слоя и соединении точек A и A’.Тогда трубка определяется единственным образом вектором сh. Диаметр трубки d равен dcannm mh22, (1.1)где a — постоянная решетки, и угол  arctan32mn m (1.2)Рис. 1.5. Углерод-ные нанотрубки образуются при скручивании гра-фитовых плоско-стей в цилиндр, соединяя точки А и А’. Угол хираль-ности определя-ется как aa12AA,ось трубки

Книги серии