Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров

Читать фрагмент

книга

Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров

В учебном пособии даны характеристики и рассмотрены технологические приемы получения тонкопленочных твердотельных сенсоров, их конструкционные особенности, основные параметры, назначение и области их применения. Особое внимание уделено оптическим датчиками и химическим сенсорам, их характеристикам и основным преимуществам. Представлены общие положения и законы распространения ИК-излучения. Рассмотрено использование наноструктурных материалов для создания фотодетекторов и сенсоров различного назначения.Пособие предназначено студентам высших учебных заведений, обучающимся по направлениям подготовки 18.03.01 и 18.04.01 «Химическая технология». Оно может быть также полезно аспирантам и преподавателям вузов материаловедческих специальностей.

Форматы: PDF

Издательство: Издательство Уральского университета

Год: 2019

Место издания: Екатеринбург

ISBN: 978-5-7996-2769-0

Страниц: 151

Артикул: 100485

Электронная книга

227 ₽

Купить и скачать

Содержание

Содержание книги "Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров "

Введение

Глава 1. Основные понятия и определения

1.1. Функции и классификация датчиков и сенсоров

1.2. Активные датчики

1.3. Пассивные датчики

1.4. Комбинированные датчики

Вопросы для самоконтроля

Глава 2. Характеристики датчиков и сенсоров

2.1.Чувствительность датчика

2.2. Линейность характеристик датчика

2.3.Быстродействие датчика

2.4. Погрешности измерений физических величин и их причины

Вопросы для самоконтроля

Глава 3. Методы получения тонких пленок

3.1. Технологии изготовления тонкопленочных датчиков

3.3. Катодное (ионно-плазменное) напыление

3.4. Химическое осаждение из газовой фазы (CVD)

3.5. Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)

3.6. Эпитаксиальное осаждение

3.7. Методы химического осаждения из растворов

3.8. Материалы подложек

3.9. Функциональные материалы тонкопленочных датчиков

3.10. Формирование топологии тонкопленочных элементов

Вопросы для самоконтроля

Глава 4. Датчики видимого и ИК-излучения. Общая характеристика

4.1. Характеристика оптического излучения

4.2. Энергетические и светотехнические величины

4.3. Оптический спектр излучения

4.4. Основные законы ИК-излучения

4.5. Излучение нечерных тел

4.6. Прохождение ИК-излучения через земную атмосферу

4.7. Классификация источников ИК-излучения

4.8. Параметры и характеристики фотоприемников

Вопросы для самоконтроля

Глава 5. Тонкопленочные оптические датчики

5.1. Классификация приемников оптического излучения

5.2. Тепловые (неселективные) фотоприемники

5.3. Фотоприемники с внутренним фотоэффектом

5.4. Фотоэмиссионные датчики

5.5. Оптико-электронные преобразователи

5.6. Специальные типы фотоприемников

5.7. Датчики изображения

5.8. Способы охлаждения фотоприемников

Вопросы для самоконтроля

Глава 6. Твердотельные химические сенсоры

6.1. Общая характеристика твердотельных химических сенсоров

6.2. Металлооксидные химические сенсоры

6.3. Электрохимические сенсоры

6.4. Оптические волоконные химсенсоры

6.5. Пьезосенсоры

6.6. Сенсоры на основе каталитических полевых транзисторов

6.7. Биосенсоры

6.8. Химические сенсоры на основе тонких пленок халькогенидов металлов

Вопросы для самоконтроля

Глава 7. Наносенсоры

Вопросы для самоконтроля

Список рекомендуемых источников

Отрывок из книги

16Глава 2. Характеристики датчиков и сенсоровГлава 2. Характеристики датчиков и сенсоров2.1.Чувствительность датчикаЧувствительность — основной параметр при выборе дат‑чика. Он определяется в области номинальных параме‑тров как отношение изменения сигнала ∆S к соответ‑ствующему изменению измеряемой величины m: SSm =DD (2.1) Эта характеристика определяется изготовителем датчика и по‑зволяет оценить выходной сигнал, зная пределы изменения изме‑ряемой величины, т. е. сделать выбор датчика для измерительной системы в соответствии с требованиями измерений.Размерность S зависит от принципа работы датчика и природы измеряемой величины: для терморезистора это Ом/°C, для термо‑пары — мкВ/°C, для обнаружительной способности фотоприем‑ника — см Вт–1 Гц 1/2.Чувствительность датчика зависит от:— физического принципа, лежащего в основе его работы;— выбора материала датчика;— размера датчика (часто);— устройства датчика;— измерительной схемы;— температуры окружающей среды;— величины или частоты напряжения питания;— частоты изменения измеряемых величин.

Внимание!
При обнаружении неточностей или ошибок в описании книги "Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров (автор Вячеслав Марков, Лариса Маскаева)", просим Вас отправить сообщение на почту help@directmedia.ru. Благодарим!

Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров

Содержание

Отрывок из книги

Марков В. Ф. другие книги автора

С книгой "Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров" читают