Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров
книга

Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров

Место издания: Екатеринбург

ISBN: 978-5-7996-2769-0

Страниц: 151

Артикул: 100485

цена: 226.5
Купить и скачать Читать фрагмент

В учебном пособии даны характеристики и рассмотрены технологические приемы получения тонкопленочных твердотельных сенсоров, их конструкционные особенности, основные параметры, назначение и области их применения. Особое внимание уделено оптическим датчиками и химическим сенсорам, их характеристикам и основным преимуществам. Представлены общие положения и законы распространения ИК-излучения. Рассмотрено использование наноструктурных материалов для создания фотодетекторов и сенсоров различного назначения. Пособие предназначено студентам высших учебных заведений, обучающимся по направлениям подготовки 18.03.01 и 18.04.01 «Химическая технология». Оно может быть также полезно аспирантам и преподавателям вузов материаловедческих специальностей.

Введение
Глава 1. Основные понятия и определения
1.1. Функции и классификация датчиков и сенсоров
1.2. Активные датчики
1.3. Пассивные датчики
1.4. Комбинированные датчики
Вопросы для самоконтроля
Глава 2. Характеристики датчиков и сенсоров
2.1.Чувствительность датчика
2.2. Линейность характеристик датчика
2.3.Быстродействие датчика
2.4. Погрешности измерений физических величин и их причины
Вопросы для самоконтроля
Глава 3. Методы получения тонких пленок
3.1. Технологии изготовления тонкопленочных датчиков
3.3. Катодное (ионно-плазменное) напыление
3.4. Химическое осаждение из газовой фазы (CVD)
3.5. Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
3.6. Эпитаксиальное осаждение
3.7. Методы химического осаждения из растворов
3.8. Материалы подложек
3.9. Функциональные материалы тонкопленочных датчиков
3.10. Формирование топологии тонкопленочных элементов
Вопросы для самоконтроля
Глава 4. Датчики видимого и ИК-излучения. Общая характеристика
4.1. Характеристика оптического излучения
4.2. Энергетические и светотехнические величины
4.3. Оптический спектр излучения
4.4. Основные законы ИК-излучения
4.5. Излучение нечерных тел
4.6. Прохождение ИК-излучения через земную атмосферу
4.7. Классификация источников ИК-излучения
4.8. Параметры и характеристики фотоприемников
Вопросы для самоконтроля
Глава 5. Тонкопленочные оптические датчики
5.1. Классификация приемников оптического излучения
5.2. Тепловые (неселективные) фотоприемники
5.3. Фотоприемники с внутренним фотоэффектом
5.4. Фотоэмиссионные датчики
5.5. Оптико-электронные преобразователи
5.6. Специальные типы фотоприемников
5.7. Датчики изображения
5.8. Способы охлаждения фотоприемников
Вопросы для самоконтроля
Глава 6. Твердотельные химические сенсоры
6.1. Общая характеристика твердотельных химических сенсоров
6.2. Металлооксидные химические сенсоры
6.3. Электрохимические сенсоры
6.4. Оптические волоконные химсенсоры
6.5. Пьезосенсоры
6.6. Сенсоры на основе каталитических полевых транзисторов
6.7. Биосенсоры
6.8. Химические сенсоры на основе тонких пленок халькогенидов металлов
Вопросы для самоконтроля
Глава 7. Наносенсоры
Вопросы для самоконтроля
Список рекомендуемых источников

Все отзывы о книге

Чтобы оставить отзыв, зарегистрируйтесь или войдите