Нанометрология
книга

Нанометрология

Автор: Алексей Сергеев

Форматы: PDF

Издательство: Логос

Год: 2011

Место издания: Москва

ISBN: 978-5-98704-494-0

Страниц: 415

Артикул: 16706

цена: 350
Купить и скачать Читать фрагмент

Содержит основные сведения по метрологическому обеспечению наноиндустрии. Рассмотрены становление нанометрологии в XX— XXI вв. и концепции ее развития. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям — поверке и калибровке. Материал по сканирующей зондовой микроскопии изложен на основе семи современных стандартов, введенных в 2008—2009 гг. Описаны организационные принципы нанометрологии, системы Гостехрегулирования через сеть региональных отделений вновь созданного Центра метрологического обеспечения нанотехнологий и отраслевых научно-исследовательских институтов. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и указаны основные направления их исследований в данной области. Для ученых, инженеров и других специалистов, разрабатывающих проблемы нанометрологии. Может использоваться в учебном процессе вузов при подготовке кадров в сфере нанотехнологии, метрологии и технического регулирования, а также в магистратуре и аспирантуре в этих научно-технических областях.

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. СТАНОВЛЕНИЕ НАНОИНДУСТРИИ И КОНЦЕПЦИЯ РАЗВИТИЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ
1.1. Возникновение нанометрологии
1.2. Нанометрология за рубежом
1.3. Положение России в сфере наноиндустрии
1.4. Концепция развития нанометрологии
ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
2.1. Методы и средства интерференционных измерений
2.2. Использование принципов микроскопии в наноизмерениях
2.3. Сканирующая зондовая микроскопия
2.4. Разновидности ближнепольной микроскопии
2.5. Спектроскопия в нанометрологии
2.6. Хроматография в наноизмерениях
2.7. Сравнительный анализ технических средств нанометрологии
ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ
3.1. Основные положения
3.2. Измерение линейных размеров рельефных наноструктур
3.3. Точность измерения линейных наноразмеров
3.4. Погрешности измерения длины волны и частоты лазера
3.5. Нестабильность мощности излучения лазеров
3.6. Разрешающая способность растрового электронного микроскопа
3.7. Оценка расходимости лазерного излучения
3.8. Особенности наноизмерений в АСМ-режиме
3.9. Введение концепции неопределенности
3.10. Погрешность и неопределенность
3.11. Этапы оценивания погрешностей и неопределенностей
3.12. Пример вычисления погрешности эталона единицы длины (по данным ВНИИМ)
3.13. Определение содержания элементов методами атомной спектроскопии по ГОСТ Р 51309-99
3.14. Оценка неопределенности значений стандартных образцов
ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
4.1. Общие сведения
4.2. Рельефные меры для нанометрового диапазона
4.3. Измерительные растровые электронные микроскопы
4.4. Атомно-силовые измерительные зондовые микроскопы
4.5. Обеспечение единства измерений в лазерной технике, спектроскопии и хроматографии
ГЛАВА 5. ОРГАНИЗАЦИОННЫЕ ОСНОВЫ НАНОМЕТРОЛОГИИ
5.1. Основные положения
5.2. Стандартизация и сертификация в наноиндустрии
5.3. Цели и задачи регионального отделения ЦМО
5.4. Управление деятельностью регионального отделения ЦМО
5.5. Направления работ в области нанометрологии
5.6. Организация исследований и кадровое обеспечение наноиндустрии
5.7. Проблемы и задачи нанометрологии
ПРИЛОЖЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

Все отзывы о книге

Чтобы оставить отзыв, зарегистрируйтесь или войдите