Содержание книги "Электронная аппаратура
:
основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники"
Условные сокращения
Предисловие
1. Этапы и перспективы развития электроники
1.1. Исторические этапы в развитии электроники
1.2. Перспективы развития электроники
1.3. Перспективы развития силовой электроники
Список литературы
2. Материалы электроники
2.1. Материалы для производства полупроводников
2.1.1. Кремний
2.1.2. Арсенид галлия
2.1.3. Нитриды галлия и алюминия
2.1.4. Карбид и нитрид кремния
2.2. Алмаз и композитные материалы
2.2.1. Алмаз
2.2.2. Композиты на основе алмаза
2.2.3. Другие композитные материалы
2.3. Материалы для различных технологий
2.3.1. Материалы для изготовления резисторов и конденсаторов
2.3.2. Материалы для пайки
2.3.3. Теплоотводящие материалы
2.4. Наноматериалы
Список литературы
3. Обзор технологий электроники
3.1. Основные технологии микро- и наноэлектроники
3.1.1. Технологии микроэлектроники
3.1.2. Технологии наноэлектроники
3.2. Обзор статей в микро- и наноэлектронике
3.2.1. Обзор технологий получения слоев и покрытий
3.2.2. Обзор лазерных технологий
3.2.3. Обзор методов литографии
3.2.4. Обзор некоторых технологий, связанных с подложками и печатными платами
Список литературы
4. Технологии изготовления микросхем и модулей
4.1. Технологии, применяемые в изготовлении микросхем
4.1.1. Упаковка микросхем
4.1.2. Корпусирование микросхем и микромодулей
4.1.3. Примеры технологий вакуумплотности и герметизации
4.1.4. Влагозащита
4.1.5. Обеспечение радиационной стойкости корпусов микросхем
4.2. Технологии применяемые в изготовлении модулей СЭА
4.2.1. Основания - подложки модулей
4.2.2. Модули и блоки СЭА
4.2.3. Технологии, улучшающие отвод теплоты от модулей
Список литературы
Приложение 1
Приложение 2
Приложение 3