Микродатчики и микросистемы

Содержание книги "Микродатчики и микросистемы "

ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ О МИКРОСИСТЕМАХ
Лекция 1. Введение в микросистемную технику
1.1. Общие определения
1.2. Немного о структуре курса
1.3. История развития микросистем
1.4. Сенсор как измерительный прибор
1.5. Основные метрологические характеристики сенсоров
1.6. Классификация сенсоров. Основные классы
ОСНОВЫ ПРОЕКТИРОВАНИЯ МИКРОСИСТЕМ
Лекция 2. Компьютерное проектирование микросистем
2.1. Модель и реальность
2.2. Идеология моделирования в ANSYS
МЕХАНИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ И МИКРОСИСТЕМЫ
Лекция 3. Базовые принципы измерения давления и приборы на их основе
3.1. Давление и его измерение
3.2. Тензорезистивные сенсоры давления
3.3. Емкостные сенсоры давления
Лекция 4. Акселерометры на основе кремния
4.1. Общая идея акселерометра
4.2. Основные концепции построения акселерометров
4.3. Математическое описание работы акселерометра
4.4. Тензорезистивный кремниевый акселерометр
4.5. Конструкция тензорезистивного кремниевого акселерометра
Лекция 5. Другие механические сенсоры и микросистемы
5.1. Ключи, переключаемые давлением
5.2. Резонансные сенсоры давления
5.3. Микросистемные микрофоны
5.3.1. Тензорезистивные микрофоны
5.3.2. Емкостные микрофоны
5.3.3. Пьезоэлектрические микрофоны
5.3.4. FET-микрофоны
5.4. Тактильные сенсоры
5.4.1. Пьезоэлектрические тактильные сенсоры
5.4.2. Тензорезистивные тактильные сенсоры
5.4.3. Емкостные тактильные сенсоры
5.4.4. Оптические тактильные сенсоры
Лекция 6. Введение в микрофлюидные системы
6.1. Расходомеры
6.2. Сенсоры плотности и вязкости
6.3. Клапаны
6.3.1. Общие определения и классификация
6.3.2. Конструктивные особенности активных клапанов
6.4. Микромеханические насосы
ТЕРМИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ И МИКРОСИСТЕМЫ
Лекция 7. Физические основы работы термических сенсоров
7.1. Термические сенсоры как измерительные приборы
7.2. Механизмы теплообмена
7.3. Электротепловая аналогия
Лекция 8. Термические газовые сенсоры
8.1. Физические принципы работы термических сенсоров потока газа
8.2. Феноменологическое описание конвективного теплообмена
8.3. Критерии подобия
8.4. Термоанемометры с металлической нитью
8.5. Термоанемометры из поликристаллического кремния
8.6. Термические сенсоры, чувствительные к изменению направления теплового потока
8.7. Термические вакуумметры
8.8. Конструктивные особенности манометров Пирани
ОПТИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ И МИКРОСИСТЕМЫ
Лекция 9. Оптические сенсоры как измерительные приборы
9.1. Общие принципы работы и классификация
9.2. Метрологические характеристики оптических сенсоров
9.3. Источники и приемники излучения: основные термины и определения
Лекция 10. Фотоэлектрические сенсоры прямого действия
10.1. Общие характеристики и классификация
10.2. Принципы работы
10.2.1. Фоторезисторы
10.2.2. Фотодиоды
10.2.3. Солнечные ячейки
10.2.4. Другие виды оптических сенсоров прямого действия
Лекция 11. Фотоэлектрические сенсоры непрямого действия
11.1. Термопары
11.2. Пирометры
11.3. Болометры
11.4. Тепловизоры
11.5. Ячейки Голея
МАГНИТНЫЕ СЕНСОРЫ И МИКРОСИСТЕМЫ
Лекция 12. Сенсоры Холла и магниторезисторы
12.1. Эффект Холла
12.1.1. Эффект Холла в металлах
12.1.2. Эффект Холла в полупроводниках
12.1.3. Более точное рассмотрение эффекта Холла
12.1.4. Некоторые метрологические характеристики сенсоров Холла
12.2. Магниторезистивный эффект
12.2.1. Физический магниторезистивный эффект
12.2.2. Геометрический магниторезистивный эффект
12.2.3. Конструктивные особенности магниторезисторов
Лекция 13. Магнитные диоды и транзисторы
13.1. Магнитодиоды
13.2. Магнитотранзисторы
13.2.1. Эффект модуляции ширины базы магнитным полем
13.2.2. Эффект модуляции ширины коллектора
13.3. Двухколлекторные магнитотранзисторы
13.4. Конструкция двухколлекторных биполярных магнитотранзисторов
13.4.1. Двухколлекторные биполярные магнитотранзисторы вертикального типа
13.4.2. Двухколлекторные биполярные магнитотранзисторы латерального типа
13.5. Полевые магнитотранзисторы
ХИМИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ И МИКРОСИСТЕМЫ
Лекция 14. Основные принципы работы химических сенсоров
4.1. Общая характеристика химических сенсоров
14.2. Классификация химических сенсоров
14.3. Сенсоры прямого действия
14.3.1. Каталитические детекторы газа
14.3.2. Металлооксидные сенсоры
14.3.3. Электрохимические сенсоры
14.3.4. Эластомерные химические сенсоры
14.3.5. Химические полевые транзисторы
Лекция 15. Составные химические сенсоры
15.1. Микрокалориметры
15.2. Оптические химические сенсоры
15.3. Биохимические сенсоры
15.4. Гравиметрические сенсоры
15.5. Энзимные сенсоры
15.6. Общие принципы химических измерений
15.6.1. Жидкостная и газовая хроматография
15.6.2. Масс-спектрометрия
15.6.3. Методы обработки полученных данных
Лекция 16. Сенсоры влажности
16.1. Основные термины и соотношения
16.2. Конденсационный гигрометр
16.3. Метрологические характеристики конденсационного гигрометра
16.4. Сорбционные гигрометры
16.5. Метрологические характеристики сорбционных гигрометров
СЕНСОРЫ ЯДЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Лекция 17. Ядерное излучение и его характеристики
17.1. Сведения из истории исследования радиоактивности
17.2. Виды радиоактивного излучения
17.2.1. Альфа-излучение
17.2.2. Бета-излучение
17.2.3. Гамма-излучение
17.2.4. Нейтронное излучение
17.3. Характеристики ядерного излучения
Лекция 18. Детекторы ядерного излучения
18.1. Сцинтилляционные счетчики
18.2. Счетчики Гейгера-Мюллера
18.3. Ионизационная камера
18.4. Полупроводниковые детекторы
18.5. Другие детекторы ядерных частиц
18.5.1. Сенсоры на основе превращений
18.5.2. Черенковские счетчики
18.5.3. Тепловые детекторы
18.5.4. Термолюминесцентные детекторы
18.5.5. Коллиматоры
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК