Введение в современную микро- и наносистемную технику

Читать фрагмент

книга

Введение в современную микро- и наносистемную технику

Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.

Форматы: PDF

Издательство: Инфра-Инженерия

Год: 2024

Место издания: Москва, Вологда

ISBN: 978-5-9729-1613-9

Страниц: 232

Артикул: 111054

Возрастная маркировка: 16+

Электронная книга

980 ₽

Купить и скачать

Содержание

Содержание книги "Введение в современную микро- и наносистемную технику "

От автора

Глава 0. Философия микросистем

0.1. Ответ на вопрос «Зачем?»

0.2. Ответ на вопрос «Почему?»

0.3. Взгляд на микроэлектронику

0.4. Терминология микроэлектроники и микросистемной техники

Список литературы к главе 0

Глава 1. Что такое микросистема

1.1. Логическая схема микросистемы

1.2. Структурные элементы микросистем

1.2.1. Классификация сенсоров

1.2.2. Классификация актюаторов

1.2.3. Сигнальный процессор

1.3. Трансдъюсер или микросистема

1.4. Выводы

Список литературы к главе 1

Глава 2. Микросистема, от идеи до воплощения

2.1. Проектирование микросистем

2.1.1. Подходы к проектированию микросистем

2.1.2. Виды проектирования микросистем

2.2. Изготовление микросистем

2.2.1. Технологический маршрут

2.2.2. Fabless и foundry

2.2.3. Технологическое оборудование

2.2.4. Материалы для технологического процесса

2.3. Экспериментальная верификация микросистем

2.3.1. Измерения на кристалле

2.3.2. Измерения на измерительном модуле

Список литературы к главе 2

Глава 3. Основа современной микроэлектроники

3.1. Кремний

3.1.1. Кремний как механический материал

3.1.2. Кремний как полупроводниковый материал

3.1.3. P-n-переход и приборы на его основе

3.2. Рождение и эволюция кремния

3.2.1. Выплавка кремния из кварцевого песка

3.2.2. Очистка кремния от примесей и его восстановление

3.2.3. Выращивание слитков кремния

3.2.4. Изготовление кремниевых пластин

3.3. Чистота и микроэлектроника

3.3.1. Чистые комнаты и климат в них

3.3.2. Загрязнения и способы борьбы с ними

3.4. Создание вакуума

3.4.1. Виды вакуума и его применение

3.4.2. Оборудование для создания вакуума

Список литературы к главе 3

Глава 4. Экскурсия на полупроводниковое производство

4.1. Фотолитография

4.1.1. Идея фотолитографии

4.1.2. Фоторезист, его нанесение и удаление

4.1.3. Проявление фоторезиста

4.1.4. Альтернативные виды литографии

4.2. Травление

4.2.1. Жидкостное химическое травление

4.2.2. Сухое травление в плазме

4.3. Термическое окисление

4.3.1. Идея термического окисления

4.3.2. Механизм термического окисления

4.4. Термическая диффузия

4.4.1. Цель, смысл и общая суть термической диффузии

4.4.2. Практическая реализация термической диффузии

4.5. Ионная имплантация

4.5.1. Установка для ионной имплантации

4.5.2. Ионное легирование

4.5.3. Технологии SIMOX и Smart-Cut

4.6. Осаждение

4.6.1. Химическое осаждение из газовой фазы

4.6.2. Свойства осаждаемых пленок

4.6.3. Прочие методы осаждения

4.7. Эпитаксия

4.7.1. Эпитаксия из газовой фазы

4.7.2. Молекулярно-лучевая эпитаксия

4.8. Создание металлизации

4.8.1. Эволюция металлизации

4.8.2. Технологии напыления

Список литературы к главе 4

Заключение

Внимание!
При обнаружении неточностей или ошибок в описании книги "Введение в современную микро- и наносистемную технику (автор Александр Гридчин)", просим Вас отправить сообщение на почту help@directmedia.ru. Благодарим!

Введение в современную микро- и наносистемную технику

Содержание

другие книги автора

С книгой "Введение в современную микро- и наносистемную технику" читают