Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники

Читать фрагмент

книга

Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники

Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС.Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.

Форматы: PDF

Издательство: Беларуская навука

Год: 2022

Место издания: Минск

ISBN: 978-985-08-2875-0

Страниц: 291

Артикул: 102768

Электронная книга

774 ₽

Купить и скачать

Содержание

Содержание книги "Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники "

Введение

Глава 1. Стоение и стабильность свойств тонкопленочных материалов и многослойных структур

1.1. Тенденции развития технологии формирования тонкопленочных структур

1.2. Электронное строение и свойства однокомпонентных материалов

1.3. Электронное строение и свойства химических соединений

1.4. Строение и свойства полимерных материалов

1.5. Строение и свойства многокомпонентных расплавов

1.6. Сплавы для токопроводящих систем и резистивных элементов интегральных микросхем

1.7. Стабильность свойств многослойных пленок и структур

Выводы

Глава 2. Термодинамика фазовых переходов при осаждении тонких пленок

2.1. Фазовые превращения в однокомпонентных материалах

2.2. Равновесное давление паров конденсированных фаз

2.3. Давление насыщенного пара элементов

2.4. Давление насыщенных паров растворов и смесей

2.5. Термическая диссоциация химических соединений

2.6. Особенности нанесения пленок полимеров

2.7. Фазовые переходы ж → пар и тт → пар многокомпонентных систем

Выводы

Глава 3. Сплавы для резистивных пленок, получаемых методами испарения и распыления

3.1. Получение многокомпонентных пленок однородного состава

3.2. Влияние технологических факторов на свойства резистивных пленок

3.3. Сплавы для резистивных пленок, получаемых методами испарения

3.4. Расчет элементного состава резистивных сплавов

3.5. Сплавы для резистивных пленок, получаемых методами распыления

3.6. Структура и фазовый состав резистивных пленок

3.7. Электрические свойства резистивных пленок

Выводы

Глава 4. Сплавы для резисторов с повышенной стабильностью

4.1. Расчет эвтектического состава сплава системы Cr–Мо–Si

4.2. Выбор переходного металла для снижения температуры плавления систем Cr–Mo – переходный металл – Si

4.3. Расчет эвтектических составов сплавов системы Cr–Мо–Ni–Si

4.4. Выбор РЗМ для снижения температур плавления четырехкомпонентной системы Cr–Mo–Ni–Si

4.5. Расчет эвтектических составов сплавов в системах Cr–Mo–Ni–Y–Si и Cr–Mo–Ni–La–Si

4.6. Технологии изготовления мишеней из резистивных сплавов

4.7. Поиск эвтектического состава сплава системы Mn–Co–La–Si

4.8. Влияние термообработки на структуру и фазовый состав резистивных пленок систем Cr–Ni–La–Si и Mn–Co–La–Si

4.9. Электрические свойства резистивных пленок систем Cr–Ni–Si, Cr–Ni–La–Si, Mn–Co–La–Si и тестовых резисторов

Выводы

Глава 5. Токопроводящие системы интегральных микросхем: сплавы, мишени, структура, свойства

5.1. Токопроводящие системы на основе алюминия

5.2. Мишени из сплавов на основе алюминия

5.3. Термостабильность и микрорельеф поверхности пленок

5.4. Состав, структура и электрофизические свойства токопроводящих систем

5.5. Токопроводящие системы на основе оксидных пленок

5.6. Механизмы формирования ямок в контактных окнах при термообработке структур Si (111)/SiO2/Al

Выводы

Глава 6. Стабилизация свойств твердотельных структур изделий микро- и наноэлектроники

6.1. Влияние барьерных слоев на стабильность свойств кремниевых структур

6.2. Строение и свойства структур Al/Mo/Si

6.3. Особенности формирования кремниевых структур с проектными нормами субмикронных размеров

6.4. Напряженно-деформированное состояние кремниевых структур

6.5. Перспективы использования полимерных материалов при изготовлении ИЭТ

Выводы

Список использованных источников

Отрывок из книги

18Диэлектрические свойства полимеров, так же как и механические, зависят от структурного состояния и могут изменяться при изменении температуры, степени кристалличности, преимущественной ориентации кристаллитов, а так-же при фазовых превращениях. Особенно чувствительны к отмеченным из-менениям диэлектрические потери на переменном токе, причем в некоторых достаточно узких частотных интервалах tg δ может изменяться во много раз. Электропроводящие полимеры – новый класс полимеров, состоящих из электропроводных макромолекул или молекулярных комплексов. Электро про-водность макромолекулам придают σ-связи в сопряженной цепи, благодаря которой электроны делокализованы и могут перемещаться в пределах пере-крывания своих орбиталей. Однако это не обеспечивает электропроводность всей макромолекулы, поскольку между участками полисопряжения имеются диэлектрические барьеры. Высота этих барьеров не слишком велика, поэтому система представляет собой полупроводник, свойства которого зависят от об-щей протяженности системы сопряженных связей, компланарности структуры основной цепи, природы боковых групп, от наличия в цепи сопряжения гете-роатомов с электронами на внешней орбите, не участвующими в образовании химической связи. На основе таких полимеров разработаны диоды и транзи-сторы, фотоэлектронные приборы и другие аналоги приборов неорганической твердотельной электроники. Большим достоинством органических полупро-водниковых полимеров, являются гибкость и простота формирования изделий из них. Многие из них формируются из растворов, поэтому сложные элек-тронные структуры могут быть сформированы методами трафаретной печати. Проводящие полимеры используются как антистатические добавки, радио-поглощающие покрытия, детали тяговых аккумуляторных батарей электро-транспорта. Возможно их использование в микроэлектронике в качестве меж-соединений ИМС.Электрические свойства полимеров с сопряженными связями (ПСС) легко изменяются. Чистый полимер с регуляр...

Внимание!
При обнаружении неточностей или ошибок в описании книги "Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники (автор Виктор Зеленин)", просим Вас отправить сообщение на почту help@directmedia.ru. Благодарим!