Экспериментальные методы физики твердого тела
книга

Экспериментальные методы физики твердого тела

Автор: Дмитрий Фомин

Форматы: PDF

Издательство: Директ-Медиа

Год: 2019

Место издания: Москва|Берлин

ISBN: 978-5-4499-0151-4

Страниц: 187

Артикул: 75583

Возрастная маркировка: 16+

Печатная книга
936
Ожидаемая дата отгрузки печатного
экземпляра: 07.05.2024
Электронная книга
261.8

Краткая аннотация книги "Экспериментальные методы физики твердого тела"

Учебное пособие подготовлено для бакалавров и магистров инженерно-физических направлений подготовки высшего профессионального образования изучающих дисциплины «Экспериментальные методы физики твердого тела» и «Теоретические и экспериментальные методы физики твердого тела». Будет интересно аспирантам и молодым ученым естественнонаучного блока. Данное учебное пособие не претендует на энциклопедичность в рассматриваемой области знаний, поскольку в нем представлены экспериментальные методы физики твердого тела на основе приборной базы Амурского государственного университета. Тем не менее пособие охватывает большой спектр методов, построенных на использовании различных физических явлений. Таких как вторичная электронная эмиссия, дифракция, квантовые эффекты, взаимодействия поверхности с твердотельными нанозондами. В пособии достаточно подробно рассмотрены вопросы, касающиеся работы со сверхвысоковакуумными установками, имеются схемы in-situ экспериментов.

Содержание книги "Экспериментальные методы физики твердого тела"


Введение
Глава 1. Условия проведения экспериментов
Техника сверхвысокого вакуума
СВВ системы откачки
Сверхвысоковакуумные камеры и фланцы
Приготовление атомарно-чистой поверхности
Эпитаксия
Техника термического осаждения в вакууме
Источники напыления
Измерители толщины пленок
Экспериментальные методы физики твердого тела
Глава 2. Методы исследования, построенные на явлении вторичной электронной эмиссии
Дифференциальный энергетический спектр вторичных электронов
Оже-электронная спектроскопия
Регистрация оже-электронов
Глубина выхода оже-электронов
Оже-анализ
Анализаторы энергии электронов
Энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало
Спектроскопия характеристических потерь энергии электронами
Анализ с помощью СХПЭЭ
Фотоэлектронная спектроскопия
Экспериментальное оборудование ФЭС
Анализ с помощью метода ФЭС
Растровая электронная микроскопия
Формирование электронного зонда
Детекторы вторичных сигналов в РЭМ
Взаимодействие электронного пучка с веществом
Основные механизмы упругих и неупругих потерь энергии электронов в веществе
Основные источники сигналов, используемых в РЭМ для формирования изображения
Область взаимодействия электронов зонда с веществом
Основные механизмы формирования изображения в РЭМ
Методы обработки видеосигнала в РЭМ
Глава 3. Методы исследования, построенные на явлении дифракции
Дифракция медленных электронов
Интерпретация картин ДМЭ
Дифракция быстрых электронов
Аппаратура ДБЭ
ДБЭ анализ
Дифракция рентгеновских лучей
Структурный анализ с помощью РД
Глава 4. Методы сканирующей зондовой микроскопии
Сканирующая туннельная микроскопия
Атомно-силовая микроскопия
Электросиловая и магнитно-силовая микроскопии
Аппаратура СЗМ
Глава 5. Методы исследования, построенные на квантовых эффектах
Электронный парамагнитный резонанс
Квантовомеханическая интерпретация ЭПР
Классическая интерпретация ЭПР
Устройство ЭПР спектрометров
Основные характеристики спектров ЭПР
Спектрометры электронного парамагнитного резонанса

Все отзывы о книге Экспериментальные методы физики твердого тела

Чтобы оставить отзыв, зарегистрируйтесь или войдите

Отрывок из книги Экспериментальные методы физики твердого тела

ников типа AI I IBV это плоскость (110). Поверхности с другими ориентациями с помощью скола не могут быть получены. В-четвертых, сколотая поверхность в общем случае может и не обладать равновесной структурой. Например, сколо­тые поверхности Si(111) и Ge(111) имеют структуру 2 х 1 в т о в р е м я , как рав­новесные поверхности Si(111) и Ge (111) имеют структуру 7 х7 и с (2 х 8) соот­ветственно. С другой стороны, это свойство скола можно рассматривать и как преимущество, если исследователя и интересуют эти метастабильные поверх­ности. Поверхности некоторых кристаллов могут быть очищены простым про­гревом с помощью пропускания электрического тока через образец (см. рис.146), электронной бомбардировки или лазерного отжига. Основное требо­вание состоит в том, чтобы адсорбированные примеси и/или поверхностные ок­сиды испарялись при температурах ниже точки плавления исследуемого мате­риала. Это выполняется для вольфрама и аналогичных тугоплавких металлов, а также для Si. Однако даже для этих материалов тепловая обработка имеет сле­дующие недостатки. Отжиг может приводить к перераспределению примесей в объеме образца или даже к их сегрегации на поверхность. Некоторые примеси (например, углерод) могут образовывать очень прочные соединения с материа­лом образца и, следовательно, с трудом могут быть полностью удалены с по­верхности. Для облегчения термической очистки иногда применяется химическая об­работка поверхности образца как снаружи (ex situ), так и внутри (in situ) ваку­умной камеры. Предварительная химическая обработка ex situ заключается в образовании относительно тонкого защитного слоя, который может быть уда­лен in situ прогревом при невысоких температурах. Примером может служить процедура RCA обработки пластин Si, разработанная В. Керном. Химическая обработка in situ, как правило, следующая. Активный газ на­пускается в вакуумную камеру при низких давлениях (обычно, около 10-4 Па или ниже), после чего проводится отжиг образца в этой газовой среде. Газ реаги­ру...