Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия
Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме электронная оже-спектроскопия подготовлено для бакалавров и магистров инженерно-физических направлений подготовки высшего профессионального образования изучающих дисциплины «Экспериментальные методы физики твердого тела» и «Теоретические и экспериментальные методы физики твердого тела».В данном учебно-методическом пособии рассматриваются физические основы метода электронной оже-спектроскопии и его применение для определения элементного состава поверхности полупроводниковых низкоразмерных структур. Учебно-методическое пособие содержит указания по получению и анализу оже-спектров с помощью анализатора типа двухпролетное цилиндрическое зеркало. Пособие также будет интересно аспирантам и молодым ученым естественнонаучного блока при проведении научно-исследовательской работы, а также студентам при выполнении НИРС.Данное пособие подготовлено в рамках работ по гранту АмГУ.
Содержание
Содержание книги "Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия "
Отрывок из книги
Режим постоянного значения ∆Е/Е используется, когда энергия пропускания E0 сканируется изменением напряжения, прикладываемого к электродам. В этом случае ширина энергетического окна непрерывно увеличивается с ростом энергии, оставляя отношение ∆Е/Е неизмен-ным. Величина ∆Е/Е в основном определяется угловыми размерами входного и выходного отверстий. Ток, измеряемый в режиме постоян-ного значения ∆Е/Е, пропорционален EN(E). В режиме постоянного значения ∆Е энергия пропускания электро-нов E0 поддерживается постоянной, что обеспечивает постоянное разрешение ∆Е. В этом случае спектр электронов непрерывно «пере-мещают» через фиксированное энергетическое окно ∆Е, используя ускоряющее или замедляющее напряжение на входе анализатора. 1.6. Энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало Наибольшее распространение, как уже говорилось выше, в ЭОС получил энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало (АЦЗ). Изу-чим его подробнее. Анализатор этого типа состоит из двух коаксиальных полых металлических цилиндров (см. рис. 6). Во внут-реннем цилиндре A имеются узкие прорези S1 и S2 для прохождения входящих и выходящих электронов соответственно. К внешнему ци-линдру B прикладывается отрицательный по отношению к внутреннему цилиндру потенциал Vab. В пространстве между цилин-драми электростатическое поле изменяется обратно пропорционально радиусу r: , (10) здесь ra и rb – соответственно радиусы внутреннего и внешнего цилин-дров. Рис. 6. Схема анализатора типа цилиндрическое зеркало )/ln()(ababrrrVr=ε15
Внимание!
При обнаружении неточностей или ошибок в описании книги "Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия (автор Дмитрий Фомин, Виктор Дубов)", просим Вас отправить сообщение на почту help@directmedia.ru. Благодарим!
и мы свяжемся с вами в течение 15 минут
за оставленную заявку