Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия

Рис. 5. Схематическое изображение основных анализаторов отклоняющего типа: а – анализатор типа «цилиндрическое зеркало»; б – кон-центрический полусферический анализатор; в – 127°-ный секторный цилиндрический анализатор. Во всех анализаторах внешние электроды находятся под отрицательным потенциалом по отношению к внутренним электродам. Устройство концентрического полусферического анализатора схематически показано на рис. 5, б. Основные элементы анализатора – это две кон-центрические полусферы. Внешняя полусфера заряжена отрицательно по отношению к внутренней для того, чтобы создать электростатиче-ское поле для уравновешивания центробежной силы электронов при их движении по круговой траектории. Входное и выходное отверстия имеют форму круга. Эффективность полусферического анализатора связана с фокусировкой электронов, отклонившихся на угол 180°. Концентрические полусферические анализаторы широко используют-ся в ФЭС и ЭОС, особенно когда требуются измерения с угловым разрешением. Принцип работы 127°-ного анализатора (рис. 5, в), называемого также секторным цилиндрическим анализатором, схож с принципом работы полу-сферического анализатора. В качестве электродов в нем используются два концентрических цилиндрических сектора с углом 127°17', для ко-торого выполняется условие фокусировки электронов. 127°-ный анализатор характеризуется высоким разрешением по энергии, но име-ет не слишком высокую чувствительность. В основном он используется в измерениях СХПЭЭ высокого разрешения, причем и в виде моно-хроматора, и в виде энергоанализатора. Что касается разрешения по энергии, анализаторы отклоняющего типа могут быть использованы в двух режимах: – режим постоянного значения ∆Е/Е; – режим постоянного значения ∆Е. 14