Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону
Автор: Игорь Сысоев, Леонид Лунин
Форматы: PDF
Издательство: Северо-Кавказский Федеральный университет (СКФУ)
Год: 2015
Место издания: Ставрополь
ISBN: 978-5-9296-0785-1
Страниц: 97
Артикул: 17087
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям А<sup>III</sup>В V . Приводится мето-дика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений А<sup>III</sup>В V . Обсуждаются возможности получения различных микро- и нано-структур соединений А III В V с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, асптирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и нано-структурой.
Глава 1. Основные свойства гетероструктур твердых растворов на основе соединений АIIIВV
1.1. Основные параметры двух- и трехкомпонентных гетероструктур соединений АIIIВV
1.2. Основные параметры четырехкомпонентных гетероструктур соединений АIIIВV
Глава 2. Основы градиентной эпитаксии многокомпонентных твердых растворов АIIIВV в газовой фазе
2.1. Особенности термодинамического анализа при массопереносе в газовой фазе твердых растворов АIIIВV в поле температурного градиента
2.2. Моделирование процесса градиентной эпитаксии через тонкую газовую зону применительно к соединениям АIIIВV
Глава 3. Технические аспекты получения многокомпонентных соединений АIIIВV методом градиентной эпитаксии через тонкую газовую зону
3.1. Технологическая оснастка и оборудование градиентной газофазной эпитаксией
3.2. Система управления технологическим процессом градиентной газофазной эпитаксией
3.3. Особенности программного обеспечения системы управления процессом градиентной эпитаксией
Глава 4. Особенности получения многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV с микро- и наноструктурой градиентной эпитаксией через тонкую газовую зону
4.1. Градиентная эпитаксия микроструктур через тонкую газовую зону применительно к соединениям АIIIВV
4.2. Получение наноструктур многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV градиентной эпитаксией через тонкую газовую зону
Заключение
Литература
Перечень обозначений
Все отзывы о книге
С этой книгой читают
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
и мы свяжемся с вами в течение 15 минут
за оставленную заявку