Методы диагностики и анализа наносистем

- 69 -Лабораторная работа 44. Технология получения изображения в атомно-силовой микроскопии с помощью учебно-научного комплекса НАНОЭДЮКАТОР IIЦель работы: изучение основ зондовой микроскопии, по-лучение навыков работы с методами сканирующего зондового микроскопа СЗМ НАНОЭДЮКАТОР II. В результате выполнения лабораторной работы студенты должны: • знать: основы сканирующей зондовой микроскопии, ос-новные компоненты сканирующего зондового микроско-па, виды датчиков, сканеры, Систему обратной связи и конструкцию СЗМ НАНОЭДЮКАТОР II. • уметь: использовать в профессиональной деятельности знания о сущности практической задачи, планировать и проводить эксперементальные исследования, обрабаты-вать, анализировать и предоставлять результаты изме-рений, выстраивать полученные знания и умения в уже имеющеюся систему знаний, привлекать к решению практической задачи междисциплинарные знания.• владеть: навыками работы с методами сканирующего зондового микроскопа. Образец: фрагмент DVD (образец для АСМ из комплекта образцов для НАНОЭДЮКАТОРА).Теоретическая часть В СЗМ НАНОЭДЮКАТОР II используется принцип, схожий с полуконтактной АСМ, но при этом используется другой, от-личный от классического, датчик (см. далее разделы «Виды дат-чиков» и «Конструкция СЗМ НАНОЭДЮКАТОР II»).Еще одной особенностью СЗМ является измерение других сигналов с датчиков. Такие сигналы, в отличие от сигнала, ис-пользуемого в обратной связи, не поддерживаются постоянны-ми во время сканирования, а их изменение отражает изменение свойств поверхности. Такие методы можно назвать измеритель-ными. Например, МСМ (магнитно-силовая микроскопия), СЕМ