Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов А^IIIВ^V через тонкую газовую зону

- 16 - ( ),242321TkTkTkkTCp+⋅+⋅+= (2.8, в) где Cp(T) – температурная зависимость изобарной теплоемкости, Дж/К; k1, k2, k3, k4 – коэффициенты (справочные величины). Выбор одной из указанных формул (2.8,а) – (2.8,в) зависит от того, в каком температурном интервале кривая для температурной зависимости имеет большую кривизну. Если кривизна является большей при низших температурах, приобретая почти линейный характер при высоких температурах, следует пользоваться форму-лой (1.8,в) или в отдельных случаях формулой (2.8,б). Если же кривизна оказывается большей при высоких температурах, следует применять формулу (2.8,а). После выбора типа формулы исполь-зуют численные значения справочных коэффициентов k1, k2, k3, k4. Температурная зависимость изобарной теплоемкости исполь-зуется также и при вычислении энтропии каждого компонента ре-акции при заданной температуре Т: ( )( )dTTTCSTSTP∫+=2980; (2.9) где S0 – стандартная энтропия вещества (при Т = 298 К). Исходными величинами для проведения термодинамического анализа при использовании данной методики являются стандарт-ные значения энтропии и энтальпии образования каждого веще-ства, а также коэффициенты в уравнении изобарной теплоемкости (2.8), некоторые из которых приводятся в справочной литературе [25, 30, 34, 26, 31, 27, 32, 28, 33]. Погрешность данного метода рас-чета связана с отсутствием точных значений исходных данных для некоторых из веществ. В этом случае значения термодинамических свойств веществ можно оценить с помощью различных прибли-женных методов [27]. При выращивании многокомпонентных твердых растворов со-единений АIIIВV методом ГЭ в газовой фазе если применяется в ка-честве реагента переносчика пары воды в водороде возможно ис-пользование только таких компонент как: галлий, индий, фосфор и мышьяк так, как алюминий при этих условиях образует устойчи-вый оксид. Поэтому можно получать многокомпонентн...