Инженерная вакуумная техника

Содержание книги "Инженерная вакуумная техника "

Предисловие
Лекция № 1. Исторический экскурс
Лекция № 2. Кинетическая теория газов
Лекция № 3. Скорости молекул. Распределение молекул по скоростям Максвелла — Больцмана
Лекция № 4. Поведение реальных газов и паров
Лекция № 5. Длина свободного пробега молекул
Лекция № 6. Явление переноса (вязкость, теплопроводность, диффузия)
Лекция № 7. Основы процесса откачки. Термины и определения
Лекция № 8. Средства получения вакуума
Лекция № 9. Вращательные насосы (механические «масляные» насосы)
Лекция № 10. Жидкостно-кольцевые вакуумные насосы
Лекция № 11. Двухроторные насосы (насосы Рутса)
Лекция № 12. Диффузионные насосы
Лекция № 13. Молекулярные насосы
Лекция № 14. Сорбция газов и паров твердыми телами
Лекция № 15. Адсорбционные насосы
Лекция № 16. Геттерно-ионные насосы
Лекция № 17. Криогенные насосы (крионасосы)
Лекция №18. Принципы измерения вакуума
Лекция № 19. Механические (деформационные) манометры
Лекция № 20. Тепловые манометры
Лекция № 21. Ионизационные манометры
Лекция № 22. Приборы для измерения парциальных давлений: масс-спектрометры
Лекция № 23. Течеискание
Лекция № 24. Конструкция рабочей камеры вакуумного оборудования
Лекция № 25. Структура компоновок многокамерного вакуумного технологического оборудования
Лекция № 26. Элементы вакуумной арматуры
Лекция № 27. Газовыделение внутрикамерных устройств
Лекция № 28. Расчёт газовыделения из кинематических пар
Лекция № 29. Адсорбция и десорбция газов
Лекция № 30. Растворимость, газосодержание, диффузия, проницаемость
Лекция № 31. Традиционные и нетрадиционные методы обезгаживания
Лекция № 32. Диагностика вакуумных механизмов
Лекция № 33. Диагностика вакуумных шарикоподшипников гиродинов и турбомолекулярных насосов
Лекция № 34. Перспективы создания прецизионного вакуумного натекателя
Лекция № 35. Вакуумная технология получения наноструктурированного топлива в условиях изоляции от источников нефтепродуктов
Лабораторная работа № 1. Изучение вакуумных насосов
Лабораторная работа № 2. Измерение вакуума
Лабораторная работа № 3. Измерение быстроты откачки двумя методами
Лабораторная работа № 4. Изучение методов течеискания
Лабораторная работа № 5. Исследование газовой среды с помощью масс-спектрометрии
Лабораторная работа № 6. Изучение экспериментального стенда для диагностики турбомолекулярных вакуумных насосов
Лабораторная работа № 7. Вибрационная диагностика турбомолекулярных вакуумных насосов (ТМИ)
Список обозначений
Список литературы и используемых источников