Нанометрология
книга

Нанометрология

Автор: Алексей Сергеев

Форматы: PDF

Издательство: Логос

Год: 2011

Место издания: Москва

ISBN: 978-5-98704-494-0

Страниц: 415

Артикул: 16706

Электронная книга
350

Краткая аннотация книги "Нанометрология"

Содержит основные сведения по метрологическому обеспечению наноиндустрии. Рассмотрены становление нанометрологии в XX— XXI вв. и концепции ее развития. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям — поверке и калибровке. Материал по сканирующей зондовой микроскопии изложен на основе семи современных стандартов, введенных в 2008—2009 гг. Описаны организационные принципы нанометрологии, системы Гостехрегулирования через сеть региональных отделений вновь созданного Центра метрологического обеспечения нанотехнологий и отраслевых научно-исследовательских институтов. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и указаны основные направления их исследований в данной области. Для ученых, инженеров и других специалистов, разрабатывающих проблемы нанометрологии. Может использоваться в учебном процессе вузов при подготовке кадров в сфере нанотехнологии, метрологии и технического регулирования, а также в магистратуре и аспирантуре в этих научно-технических областях.

Содержание книги "Нанометрология"


СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. СТАНОВЛЕНИЕ НАНОИНДУСТРИИ И КОНЦЕПЦИЯ РАЗВИТИЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ
1.1. Возникновение нанометрологии
1.2. Нанометрология за рубежом
1.3. Положение России в сфере наноиндустрии
1.4. Концепция развития нанометрологии
ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
2.1. Методы и средства интерференционных измерений
2.2. Использование принципов микроскопии в наноизмерениях
2.3. Сканирующая зондовая микроскопия
2.4. Разновидности ближнепольной микроскопии
2.5. Спектроскопия в нанометрологии
2.6. Хроматография в наноизмерениях
2.7. Сравнительный анализ технических средств нанометрологии
ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ
3.1. Основные положения
3.2. Измерение линейных размеров рельефных наноструктур
3.3. Точность измерения линейных наноразмеров
3.4. Погрешности измерения длины волны и частоты лазера
3.5. Нестабильность мощности излучения лазеров
3.6. Разрешающая способность растрового электронного микроскопа
3.7. Оценка расходимости лазерного излучения
3.8. Особенности наноизмерений в АСМ-режиме
3.9. Введение концепции неопределенности
3.10. Погрешность и неопределенность
3.11. Этапы оценивания погрешностей и неопределенностей
3.12. Пример вычисления погрешности эталона единицы длины (по данным ВНИИМ)
3.13. Определение содержания элементов методами атомной спектроскопии по ГОСТ Р 51309-99
3.14. Оценка неопределенности значений стандартных образцов
ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
4.1. Общие сведения
4.2. Рельефные меры для нанометрового диапазона
4.3. Измерительные растровые электронные микроскопы
4.4. Атомно-силовые измерительные зондовые микроскопы
4.5. Обеспечение единства измерений в лазерной технике, спектроскопии и хроматографии
ГЛАВА 5. ОРГАНИЗАЦИОННЫЕ ОСНОВЫ НАНОМЕТРОЛОГИИ
5.1. Основные положения
5.2. Стандартизация и сертификация в наноиндустрии
5.3. Цели и задачи регионального отделения ЦМО
5.4. Управление деятельностью регионального отделения ЦМО
5.5. Направления работ в области нанометрологии
5.6. Организация исследований и кадровое обеспечение наноиндустрии
5.7. Проблемы и задачи нанометрологии
ПРИЛОЖЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА

Все отзывы о книге Нанометрология

Чтобы оставить отзыв, зарегистрируйтесь или войдите

Отрывок из книги Нанометрология

1.3. Положение России в сфере наноиндустрии 29 Н а д о о т м е т и т ь , ч т о е щ е в 2002 г. п р и П р е з и д и у м е Р о с с и й с к о й А к а д е м и и н а у к б ы л с о з д а н Н а у ч н ы й с о в е т п о н а н о м а т е р и а л а м . О д н а к о ф и н а н с и р о в а н и е ф у н д а м е н т а л ь н ы х и с с л е д о в а н и й состав¬л я л о м и з е р н ы е о б ъ е м ы и н е с п о с о б с т в о в а л о р е ш е н и ю а к т у а л ь н ы х з а д а ч н а н о и н д у с т р и и . П о п р о г н о з а м а н а л и т и к о в особое в н и м а н и е п р и в л е к у т к себе н а -н о м а т е р и а л ы ( н а н о т р у б к и , м а т е р и а л ы д л я с о л н е ч н о й э н е р г е т и к и , то¬п л и в н ы е э л е м е н т ы н о в о г о т и п а ) , б и о л о г и ч е с к и е н а н о с и с т е м ы , н а -н о у с т р о й с т в а н а о с н о в е н а н о м а т е р и а л о в , н а н о и з м е р и т е л ь н а я т е х н и ­ка, н а н о о б р а б о т к а . В н а н о м е д и ц и н е п р о г н о з и р у е т с я с о з д а н и е метода л е ч е н и я н е б о л е з н и , а и н д и в и д у а л ь н о ч е л о в е к а п о его г е н е т и ч е с к о й и н ф о р м а ц и и , п р и ч е м м е д и к а м е н т а м и с а д р е с н о й н а н о д о с т а в к о й . В о с о б у ю о б л а с т ь н а н о н а у к и в ы д е л е н а о б л а с т ь , с в я з а н н а я с м о ­д е л и р о в а н и е м н а н о с и с т е м , п о с к о л ь к у у с п е ш н о е м а н и п у л и р о в а ­н и е с н а н о о б ъ е к т а м и в о з м о ж н о т о л ь к о п о с л е т щ а т е л ь н о г о изуче¬н и я и х с в о й с т в и х а р а к т е р и с т и к , п о л у ч е н н ы х с п о м о щ ь ю модель¬н ы х э к с п е р и м е н т о в . П е р е х о д к н а н о т е х н о л о г и и п о с т а в и л п е р е д н а у к о й и т е х н и к о й р я д н о в ы х с п е ц и ф и ч е с к и х з а д а ч , о б у с л о в л е н н ы х м а л ы м и размера¬м и э л е м е н т о в с т...