Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия
книга

Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия

Автор: Дмитрий Фомин, Виктор Дубов

Форматы: PDF

Издательство: Директ-Медиа

Год: 2019

Место издания: Москва|Берлин

ISBN: 978-5-4499-0154-5

Страниц: 41

Артикул: 75586

Возрастная маркировка: 16+

Печатная книга
397
Ожидаемая дата отгрузки печатного
экземпляра: 03.05.2024
Электронная книга
61.5

Краткая аннотация книги "Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия"

Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме электронная оже-спектроскопия подготовлено для бакалавров и магистров инженерно-физических направлений подготовки высшего профессионального образования изучающих дисциплины «Экспериментальные методы физики твердого тела» и «Теоретические и экспериментальные методы физики твердого тела». В данном учебно-методическом пособии рассматриваются физические основы метода электронной оже-спектроскопии и его применение для определения элементного состава поверхности полупроводниковых низкоразмерных структур. Учебно-методическое пособие содержит указания по получению и анализу оже-спектров с помощью анализатора типа двухпролетное цилиндрическое зеркало. Пособие также будет интересно аспирантам и молодым ученым естественнонаучного блока при проведении научно-исследовательской работы, а также студентам при выполнении НИРС. Данное пособие подготовлено в рамках работ по гранту АмГУ

Содержание книги "Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия"


1. Метод электронной оже-спектроскопии
1.1. Физические основы
1.2. Регистрация оже-электронов
1.3. Глубина выхода оже-электронов
1.4. Оже-анализ
1.5. Анализаторы энергии электронов
1.6. Энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало
2. Методика эксперимента
2.1. Оборудование
2.2. Подготовка образцов
2.3. Техника термического осаждения в вакууме
2.4. Калибровка источников
3. Методические рекомендации по выполнению РГР
3.1. Настройки оже-спектрометра
3.2. Техника безопасности
3.3. Задание РГР
Библиографический список

Все отзывы о книге Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия

Чтобы оставить отзыв, зарегистрируйтесь или войдите

Отрывок из книги Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия

Рис. 5. Схематическое изображение основных анализаторов отклоняющего типа: а – анализатор типа «цилиндрическое зеркало»; б – кон-центрический полусферический анализатор; в – 127°-ный секторный цилиндрический анализатор. Во всех анализаторах внешние электроды находятся под отрицательным потенциалом по отношению к внутренним электродам. Устройство концентрического полусферического анализатора схематически показано на рис. 5, б. Основные элементы анализатора – это две кон-центрические полусферы. Внешняя полусфера заряжена отрицательно по отношению к внутренней для того, чтобы создать электростатиче-ское поле для уравновешивания центробежной силы электронов при их движении по круговой траектории. Входное и выходное отверстия имеют форму круга. Эффективность полусферического анализатора связана с фокусировкой электронов, отклонившихся на угол 180°. Концентрические полусферические анализаторы широко используют-ся в ФЭС и ЭОС, особенно когда требуются измерения с угловым разрешением. Принцип работы 127°-ного анализатора (рис. 5, в), называемого также секторным цилиндрическим анализатором, схож с принципом работы полу-сферического анализатора. В качестве электродов в нем используются два концентрических цилиндрических сектора с углом 127°17', для ко-торого выполняется условие фокусировки электронов. 127°-ный анализатор характеризуется высоким разрешением по энергии, но име-ет не слишком высокую чувствительность. В основном он используется в измерениях СХПЭЭ высокого разрешения, причем и в виде моно-хроматора, и в виде энергоанализатора. Что касается разрешения по энергии, анализаторы отклоняющего типа могут быть использованы в двух режимах: – режим постоянного значения ∆Е/Е; – режим постоянного значения ∆Е. 14