Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону
Автор: Игорь Сысоев, Леонид Лунин
Форматы: PDF
Издательство: Северо-Кавказский Федеральный университет (СКФУ)
Год: 2015
Место издания: Ставрополь
ISBN: 978-5-9296-0785-1
Страниц: 97
Артикул: 17087
Краткая аннотация книги "Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону"
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям А<sup>III</sup>В V . Приводится мето-дика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений А<sup>III</sup>В V . Обсуждаются возможности получения различных микро- и нано-структур соединений А III В V с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, асптирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и нано-структурой.
Содержание книги "Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону"
Введение
Глава 1. Основные свойства гетероструктур твердых растворов на основе соединений АIIIВV
1.1. Основные параметры двух- и трехкомпонентных гетероструктур соединений АIIIВV
1.2. Основные параметры четырехкомпонентных гетероструктур соединений АIIIВV
Глава 2. Основы градиентной эпитаксии многокомпонентных твердых растворов АIIIВV в газовой фазе
2.1. Особенности термодинамического анализа при массопереносе в газовой фазе твердых растворов АIIIВV в поле температурного градиента
2.2. Моделирование процесса градиентной эпитаксии через тонкую газовую зону применительно к соединениям АIIIВV
Глава 3. Технические аспекты получения многокомпонентных соединений АIIIВV методом градиентной эпитаксии через тонкую газовую зону
3.1. Технологическая оснастка и оборудование градиентной газофазной эпитаксией
3.2. Система управления технологическим процессом градиентной газофазной эпитаксией
3.3. Особенности программного обеспечения системы управления процессом градиентной эпитаксией
Глава 4. Особенности получения многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV с микро- и наноструктурой градиентной эпитаксией через тонкую газовую зону
4.1. Градиентная эпитаксия микроструктур через тонкую газовую зону применительно к соединениям АIIIВV
4.2. Получение наноструктур многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV градиентной эпитаксией через тонкую газовую зону
Заключение
Литература
Перечень обозначений
Все отзывы о книге Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону
Отрывок из книги Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону
- 16 - ( ),242321TkTkTkkTCp+⋅+⋅+= (2.8, в) где Cp(T) – температурная зависимость изобарной теплоемкости, Дж/К; k1, k2, k3, k4 – коэффициенты (справочные величины). Выбор одной из указанных формул (2.8,а) – (2.8,в) зависит от того, в каком температурном интервале кривая для температурной зависимости имеет большую кривизну. Если кривизна является большей при низших температурах, приобретая почти линейный характер при высоких температурах, следует пользоваться форму-лой (1.8,в) или в отдельных случаях формулой (2.8,б). Если же кривизна оказывается большей при высоких температурах, следует применять формулу (2.8,а). После выбора типа формулы исполь-зуют численные значения справочных коэффициентов k1, k2, k3, k4. Температурная зависимость изобарной теплоемкости исполь-зуется также и при вычислении энтропии каждого компонента ре-акции при заданной температуре Т: ( )( )dTTTCSTSTP∫+=2980; (2.9) где S0 – стандартная энтропия вещества (при Т = 298 К). Исходными величинами для проведения термодинамического анализа при использовании данной методики являются стандарт-ные значения энтропии и энтальпии образования каждого веще-ства, а также коэффициенты в уравнении изобарной теплоемкости (2.8), некоторые из которых приводятся в справочной литературе [25, 30, 34, 26, 31, 27, 32, 28, 33]. Погрешность данного метода рас-чета связана с отсутствием точных значений исходных данных для некоторых из веществ. В этом случае значения термодинамических свойств веществ можно оценить с помощью различных прибли-женных методов [27]. При выращивании многокомпонентных твердых растворов со-единений АIIIВV методом ГЭ в газовой фазе если применяется в ка-честве реагента переносчика пары воды в водороде возможно ис-пользование только таких компонент как: галлий, индий, фосфор и мышьяк так, как алюминий при этих условиях образует устойчи-вый оксид. Поэтому можно получать многокомпонентн...
С книгой "Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону" читают
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Бестселлеры нон-фикшн
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Новинки книги нон-фикшн
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
Посмотреть
и мы свяжемся с вами в течение 15 минут
за оставленную заявку