0
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Информация о книге:

Издательство: Физматлит

Год: 2009

ISBN: 978-5-9221-1150-8

Кол-во страниц: 217

Формат: pdf

Дисциплины:
Жанры:

Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Яфаров Р. К.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы.
Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

Дисциплины:
Жанры:
Оглавление
Нет ни одного отзыва
Нет ни одного отзыва