Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия
книга

Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия

Автор: Дмитрий Фомин, Виктор Дубов

Форматы: PDF

Издательство: Директ-Медиа

Год: 2015

Место издания: Москва|Берлин

ISBN: 978-5-4475-4674-8

Страниц: 40

Артикул: 19771

Печатная книга
394
Ожидаемая дата отгрузки печатного
экземпляра: 03.05.2024
Электронная книга
60

Краткая аннотация книги "Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия"

Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме электронная оже-спектроскопия подготовлено для бакалавров и магистров инженерно-физических направлений подготовки высшего профессионального образования изучающих дисциплины «Экспериментальные методы физики твердого тела» и «Теоретические и экспериментальные методы физики твердого тела». В данном учебно-методическом пособии рассматриваются физические основы метода электронной оже-спектроскопии и его применение для определения элементного состава поверхности полупроводниковых низкоразмерных структур. Учебно-методическое пособие содержит указания по получению и анализу оже-спектров с помощью анализатора типа двухпролетное цилиндрическое зеркало. Пособие также будет интересно аспирантам и молодым ученым естественнонаучного блока при проведении научно-исследовательской работы, а также студентам при выполнении НИРС. Данное пособие подготовлено в рамках работ по гранту АмГУ.

Содержание книги "Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия"


1. Метод электронной оже-спектроскопии
1.1. Физические основы
1.2. Регистрация оже-электронов
1.3. Глубина выхода оже-электронов
1.4. Оже-анализ
1.5. Анализаторы энергии электронов
1.6. Энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало
2. Методика эксперимента
2.1. Оборудование
2.2. Подготовка образцов
2.3. Техника термического осаждения в вакууме
2.4. Калибровка источников
3. Методические рекомендации по выполнению РГР
3.1. Настройки оже-спектрометра
3.2. Техника безопасности
3.3. Задание РГР
Библиографический список

Все отзывы о книге Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия

Чтобы оставить отзыв, зарегистрируйтесь или войдите

Отрывок из книги Учебно-методическое пособие по выполнению расчетно-графической работы по теме: электронная оже-спектроскопия

Режим постоянного значения ∆Е/Е используется, когда энергия пропускания E0 сканируется изменением напряжения, прикладываемого к электродам. В этом случае ширина энергетического окна непрерывно увеличивается с ростом энергии, оставляя отношение ∆Е/Е неизмен-ным. Величина ∆Е/Е в основном определяется угловыми размерами входного и выходного отверстий. Ток, измеряемый в режиме постоян-ного значения ∆Е/Е, пропорционален EN(E). В режиме постоянного значения ∆Е энергия пропускания электро-нов E0 поддерживается постоянной, что обеспечивает постоянное разрешение ∆Е. В этом случае спектр электронов непрерывно «пере-мещают» через фиксированное энергетическое окно ∆Е, используя ускоряющее или замедляющее напряжение на входе анализатора. 1.6. Энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало Наибольшее распространение, как уже говорилось выше, в ЭОС получил энергоанализатор типа цилиндрическое зеркало (АЦЗ). Изу-чим его подробнее. Анализатор этого типа состоит из двух коаксиальных полых металлических цилиндров (см. рис. 6). Во внут-реннем цилиндре A имеются узкие прорези S1 и S2 для прохождения входящих и выходящих электронов соответственно. К внешнему ци-линдру B прикладывается отрицательный по отношению к внутреннему цилиндру потенциал Vab. В пространстве между цилин-драми электростатическое поле изменяется обратно пропорционально радиусу r: , (10) здесь ra и rb – соответственно радиусы внутреннего и внешнего цилин-дров. Рис. 6. Схема анализатора типа цилиндрическое зеркало )/ln()(ababrrrVr=ε15