0
Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей
Информация о книге:

Издательство: Издательство Уральского университета

Год: 2014

ISBN: 978-5-7996-1110-1

Кол-во страниц: 52

Формат: pdf

Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей

Кручинин Д. Ю. , Фарафонтова Е. П.

(0)
Порекомендовать в соцсетях

В наличии
Аннотация
Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности.
Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.