0
Лазеры в микроэлектронике
Информация о книге:

Издательство: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Год: 2012

Кол-во страниц: 76

Формат: pdf

Лазеры в микроэлектронике: учебное пособие

Малов И. Е. , Шиганов И. Н.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация

Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка полупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов.
Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации.
Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».

Оглавление
Нет ни одного отзыва
Нет ни одного отзыва