0
Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Информация о книге:

Издательство: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Год: 2006

ISBN: 5-7038-2926-7

Кол-во страниц: 50

Формат: pdf

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра: учебное пособие

Сагателян Г. Р. , Макушина Н. В.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин.
Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника».