0
Нанотехнологии и микромеханика
Информация о книге:

Издательство: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Год: 2013

ISBN: 978-5-7038-3729-0

Кол-во страниц: 66

Формат: pdf

Нанотехнологии и микромеханика: учебное пособие, Ч. 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Потловский К. Г. , Скороходов Е. А. , Козубняк С. А.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др.
Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Оглавление
Нет ни одного отзыва
Нет ни одного отзыва