0
Технология микросистемной техники
Информация о книге:

Издательство: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Год: 2010

Кол-во страниц: 40

Формат: pdf

Технология микросистемной техники: учебное пособие : в 3-х ч., Ч. 1

Нарайкин О. С. , Холевин В. В. , Данилов И. И. , Шалаев В. А.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация

Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.
Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специальностей.