0
Лазерные технологии в электронном машиностроении
Информация о книге:

Издательство: Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Год: 2008

Кол-во страниц: 24

Формат: pdf

Лазерные технологии в электронном машиностроении: учебное пособие

Малов И. Е. , Шиганов И. Н.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация

Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок.
Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».