0
Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций
Информация о книге:

Издательство: МИФИ

Год: 2012

ISBN: 978-5-7262-1589-1

Кол-во страниц: 199

Формат: pdf

Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций

Ратушный В. И. , Ермолаева Н. В. , Смолин А. Ю.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация
В пособии рассмотрены особенности различных методов получения эпитаксиальных полупроводниковых гетерокомпозиций на основе твердых растворов соединений А3В5, А2В6, А2В4, твердых растворов германий–кремний, аппаратурно-методические особенности каждого метода, их преимущества и недостатки, дальнейшие перспективы развития и применения. Большое внимание уделено используемому технологическому оборудованию и физическим процессам, лежащим в основе каждого метода, а также методам жидкофазной эпитаксии и получению многокомпонентных твердых растворов соединений AIIIBV.
Пособие составлено в соответствии с Государственным образовательным стандартом по дисциплинам «Методы получения эпитаксиальных гетерокомпозиций», «Технологии материалов электронной техники». Предназначено для организации самостоятельной работы студентов очной формы обучения по направлению подготовки 210100 – «Электроника и наноэлектроника», профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника», а также для аспирантов, научных сотрудников и инженеров-технологов, специализирующихся в области технологии материалов электронной техники.
Пособие подготовлено в рамках Программы создания и развития НИЯУ МИФИ.
Оглавление
Нет ни одного отзыва
Нет ни одного отзыва