0
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия
Информация о книге:

Издательство: НГТУ

Год: 2013

ISBN: 978-5-7782-2158-1

Кол-во страниц: 134

Формат: pdf

Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия: учебное пособие, Ч. I

Филимонова Н. И. , Кольцов Б. Б.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация
Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Оглавление
Нет ни одного отзыва
Нет ни одного отзыва