0

Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие для вузов

Зебрев Г. И.

Серия Нанотехнологии

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектрон-ные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Читайте также: