0
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Информация о книге:

Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний

Год: 2015

ISBN: 978-5-9963-2129-2

Кол-во страниц: 285

Формат: pdf

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие

Галперин В. А. , Данилкин Е. В. , Мочалов А. И.

Серия Нанотехнологии

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Читайте также:
Оглавление
Нет ни одного отзыва
Нет ни одного отзыва