0
Металлизация ультрабольших интегральных схем
Информация о книге:

Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний

Год: 2015

ISBN: 978-5-9963-2569-6

Кол-во страниц: 280

Формат: pdf

Металлизация ультрабольших интегральных схем: учебное пособие

Громов Д. Г. , Мочалов А. И. , Сулимин А. Д. , Шевяков В. И.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов.
Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Читайте также:
Оглавление
Нет ни одного отзыва
Нет ни одного отзыва