0
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Информация о книге:

Издательство: БИНОМ. Лаборатория знаний

Год: 2012

ISBN: 978-5-9963-0912-2

Кол-во страниц: 398

Формат: pdf

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : В 2 частях, Ч. 1

Королёв М. А. , Крупкина Т. Ю. , Ревелева М. А.

(0)

Порекомендовать в соцсетях

Аннотация
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Читайте также: